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LH2000雙頻激光干涉儀

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滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎，在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時，將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]

日期：2019-01-30　閱讀量：0

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