透鏡是由透明物質(如玻璃、水晶等)制成的一種光學元件,廣泛應用于安防、車載、數碼相機、激光、光學儀器等各個領域。曲率半徑是透鏡設計與制造的一個重要參數,在生產制造過程中常使用菲索型激光干涉儀通過測試干涉條紋,判定“貓眼”和共焦位置,并通過光柵尺或激光干涉(測距)儀,對位移變化記錄即可獲得透鏡的曲率半徑。
菲索型激光干涉儀測量透鏡曲率半徑的原理
曲率半徑等于,“貓眼”至共焦位置(或者共焦至“貓眼”位置)的位移,加上干涉儀在兩個位置,根據干涉條紋測得精確位置補償,即R(曲率半徑)=Z(位移讀數)+Z(貓眼位置補償)+Z(共焦位置補償)。注:當球面標準鏡產生的激光波前,正好匯聚于球面上時,會產生特殊類似“貓眼”的條紋,所以稱這一位置為“貓眼”位置。在實際測量過程中,傳統方法使用光柵尺來記錄位移變化,光柵尺的位移分辨率為0.1um,曲率半徑測量精度不高。如今越來越多透鏡生產企業使用LH3000雙頻激光干涉儀來測量位移。LH3000雙頻激光干涉儀以氦氖激光器為光源發射出穩定頻率的波長為長度基準,激光穩頻精度0.04ppm;以邁克爾遜干涉原理測量位移距離,測量分辨率1nm,遠遠高于光柵尺分辨率。
菲索型激光干涉儀測量曲率半徑過程中,LH3000雙頻激光干涉儀反射鏡安裝在穩定夾具上,高度與光源圓心等高,精準記錄位移數據同時降低阿貝誤差,測得的曲率半徑值準確度和一致性大幅提升。
隨著產業快速發展,對透鏡質量要求越來越高,LH3000雙頻激光干涉儀助力透鏡企業高質量發展,在激烈競爭的市場中搶占先機,拔得頭籌!
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