激光干涉儀用于平面度測量
發(fā)布時(shí)間：2019-02-19瀏覽次數(shù)：2332
1、平面度
平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺(tái)上不同位置的高度變化值，就可以得到整個(gè)平臺(tái)的平面度。
2、平面度測量用組件
平面度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、角度測量光學(xué)鏡組、平面度測量組件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
3、平面度測量應(yīng)用
測量坐標(biāo)測量機(jī)臺(tái)面以及各種平板的表面形狀。
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